特許
J-GLOBAL ID：200903070499119201
光学素子研磨機のワーク支持装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-243750
公開番号（公開出願番号）：特開平7-068457
出願日： 1993年09月03日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：
【要約】【目的】 回転抵抗の少ないワーク支持構造により小径レンズの研磨を可能ならしめるとともに、軸受部分での振動の発生・伝達を遮断して研磨面の面精度を向上させることのできる光学素子研磨機のワーク支持装置を提供することを目的とする。【構成】 第1の軸Xを中心として揺動する第1の揺動部材10と、第2の軸Yを中心として揺動するように第1の揺動部材10に取付けられた第2の揺動部材20と、第3の軸Zを中心として回動するように第2の揺動部材20に静圧軸受を介して支持されたワーク支持軸30とから構成される。
請求項（抜粋）：
第1の軸を中心として揺動する第1の揺動部材と、前記第1の軸と直交する第2の軸を中心として揺動するように前記第1の揺動部材に取付けられた第2の揺動部材と、前記第1の軸と前記第2の軸との交点を通る第3の軸を中心として回動するように前記第2の揺動部材に支持されたワーク支持軸とを備えてなる光学素子研磨機のワーク支持装置において、前記第2の揺動部材に対して前記ワーク支持軸を支持するのに静圧軸受を用いたことを特徴とする光学素子研磨機のワーク支持装置。
引用特許：
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