特許

J-GLOBAL ID：200903070503342611

荷電ビーム装置

発明者： 中沢 和広 ,  安部 貴之 ,  伊藤 昭夫
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-188383
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036730
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】本発明はLSIの試験や不良解析のために試料の電圧を測定する電子ビームテスタ等に適用される荷電ビーム装置に関し、電子ビームの走査範囲の縮小を伴うことなく対物レンズの収差を低減することを目的とする。【構成】電子銃1から発射された荷電ビームをエネルギ分析器6及び対物レンズ4を通して試料の表面に照射してその照射面から2次電子を放出させ、この2次電子を前記エネルギ分析器6によりエネルギ分析した後、検出器7に入射させて前記試料の電荷ビーム照射面の電圧を測定する荷電ビーム装置において、前記2次電子を検出器7へ誘導させる誘導作用を有し、かつ、1次電子を収束させるレンズ作用を有する構成とされた反射電極系20を設け、反射電極系20と前記対物レンズ4との合成レンズ作用により、前記1次電子を前記試料面に収束させる構成とする。

請求項（抜粋）：

電子銃(1)から発射された荷電ビームをエネルギ分析器(6)及び対物レンズ(4)を通して試料の表面に照射してその照射面から2次電子を放出させ、該2次電子を前記エネルギ分析器(6)によりエネルギ分析した後、検出器(7)に入射させて前記試料の電荷ビーム照射面の電圧を測定する荷電ビーム装置において、前記2次電子に対しては、該2次電子を前記検出器(7)へ誘導させる誘導作用を有し、かつ、前記1次電子に対しては、該1次電子を収束させるレンズ作用を有する構成とされた反射電極系(20,30)を設け、該反射電極系(20,30)と前記対物レンズ(4)との合成レンズ作用により、前記1次電子を前記試料面に収束させる構成としたことを特徴とする荷電ビーム装置。

IPC (5件)：

H01J 37/28 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/12 ,  H01J 37/244 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-150642
  
• 特開昭49-067558