特許
J-GLOBAL ID：200903070508229961
真空室の真空度制御設備における真空度特性測定記憶装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-022049
公開番号（公開出願番号）：特開平5-189058
出願日： 1992年01月10日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 真空室と真空源との間に配設したバタフライ弁等の開度可変弁を使用して真空室の真空度を調整するようにした設備において、この設備の真空度特性を正確かつ容易に測定し記憶することができる測定記憶装置を提供する。【構成】 装置をスタートさせると、開放弁1が開かれて真空室内が大気圧にされ、続いて、開放弁1が閉じられる。次いで、開度記憶手段2から目標開度0度が操作量計算手段3に入力されて開度可変弁8の目標開度を0度にするための操作量が計算され、続いて、この計算結果が開度調節手段4に入力されて開度可変弁8の開度が0度に調節される。次いで、この時点の真空室の真空度が、真空度測定手段5により測定され、測定結果が安定した後、開度可変弁8の実測開度が検出され、この検出結果とこの時点の真空室の真空度とが実測データ記憶手段7に記憶される。以上の手順が、目標開度0度から100度までの各目標開度について行わる。
請求項（抜粋）：
吸引減圧すべき真空室を連結管を介して真空源に接続し、この連結管には開度を変更できる開度可変弁を設けて、この開度可変弁の開度を調整することにより、前記真空室内の真空度を目標真空度パターンに沿って変化させるための真空室の真空度制御設備におけるこの真空度制御設備の真空度特性を測定し記憶する装置であって、前記真空室を大気中に連通・遮断させる開放弁1と、前記開度可変弁8の全閉から全開までの各目標開度を記憶する開度可変弁8の開度記憶手段2と、この開度記憶手段2に接続され前記開度可変弁8の開度を目標開度にするための操作量を計算する開度可変弁の操作量計算手段3と、この操作量計算手段3に接続され操作量計算手段3の計算結果に基づき前記開度可変弁8の開度を調節する開度可変弁8の開度調節手段4と、前記開度可変弁8が目標開度に調節された後における前記真空室内の実際の真空度を測定する真空度測定手段5と、前記開度調節手段4に接続され前記真空度測定手段5が真空度を測定した時点の前記開度可変弁8の開度を検出する開度検出手段6と、前記真空度測定手段5および前記開度検出手段6に接続され前記開度検出手段6が真空度安定後の前記真空室内の真空度を測定した時点に係る前記真空室内の真空度および前記開度可変弁8の開度を記憶する実測データ記憶手段7と、備えたことを特徴とする真空室の真空度制御設備における真空度特性測定記憶装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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