特許
J-GLOBAL ID：200903070511085210
ニアフィールド顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350961
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198732
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】測定試料に対して非接触状態で測定試料の表面近傍に局在化しているエバネッセント光を高精度に検出することにより、測定試料表面の屈折率分布に対する高分解能及び高感度測定が可能なニアフィールド顕微鏡を提供する。【構成】探針24を有するカンチレバー26と、測定試料28近傍にエバネッセント光を発生させるエバネッセント光発生手段30,32,34,36,38と、カンチレバーを所定振動周波数で振動させる振動手段40,42と、振動周波数変化を検出する第1の検出手段44,45,46,48と、カンチレバーの振動中心と測定試料とを一定距離に維持させるサーボ手段50,52と、探針を測定試料に非接触走査させる走査手段54と、エバネッセント光に探針が接することで発生した散乱光の強度を検出する第2の検出手段56と、測定試料表面の屈折率分布を画像解析する画像解析手段56,58,60,62とを備えている。
請求項（抜粋）：
その自由端表面に探針を有するカンチレバーと、所定の測定試料をセット可能であって且つ前記測定試料の表面近傍にエバネッセント光を発生させるエバネッセント光発生手段と、前記カンチレバーを所定の振動周波数で振動させる振動手段と、前記カンチレバーの自由端裏面にレーザー光を照射し且つ前記自由端裏面から反射したレーザー光の光学的特性に基づいて、前記探針と前記測定試料との間の相互作用により生じる前記振動周波数の変化を検出する第1の検出手段と、前記第1の検出手段によって検出された第1の検出信号に基づいて、前記カンチレバーの振動中心と前記測定試料との間の距離を一定に維持させるサーボ手段と、前記第1の検出手段によって検出された第1の検出信号に基づいて、前記探針を前記測定試料に対して相対的に非接触走査させる走査手段と、前記測定試料の表面近傍に発生した前記エバネッセント光に前記探針が接することによって発生した散乱光の強度を検出する第2の検出手段と、この第2の検出手段によって検出された第2の検出信号に基づいて、前記測定試料の表面の屈折率分布を画像解析する画像解析手段とを備えることを特徴とするニアフィールド顕微鏡。
IPC (2件)：
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