特許

J-GLOBAL ID：200903070514693157

ウエハ洗浄用コンテナおよびウエハ洗浄装置

発明者： 小溝 俊爾
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-352715
公開番号（公開出願番号）：特開平9-186125
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 洗浄処理能力が高く、且つ省スペース化・省洗浄液化が可能なウエハ洗浄用コンテナおよびこれを用いたウエハ洗浄装置を提供する。【解決手段】 ウエハ洗浄用コンテナ1は、上面開口3をウエハ2の出入口とし、側壁4内面にウエハ2の挿脱用の複数の溝5を有し、下部に洗浄用液体の注入口7を有し、洗浄用液体を収容してコンベア11で運搬可能な構造とする。このコンテナ1をトンネル状に密封して覆うほぼ同寸法のモジュール内でウエハ2を洗浄処理する。

請求項（抜粋）：

上面開口をウエハの出入口とし、側壁内面にウエハの挿脱用の複数の溝を有し、下部に洗浄用液体の注入口を有し、この洗浄用液体を収容してコンベアで運搬可能としたことを特徴とするウエハ洗浄用コンテナ。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/304 341 T ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/68 V