特許
J-GLOBAL ID：200903070519757080
相対移動検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山崎 行造 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-500975
公開番号（公開出願番号）：特表平10-501334
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】ここに開示された装置は、格子(13)を使用し、この格子は、光を予め選択された波長で正(33)と負(35)の1次へ集光し、0(31)を最小化させる。格子(13)は予め選択された波長の単色光(15)で照明され、多相周期検出器(25)は、(ここで、θ=arcsin(λ/P)、Wは格子の照明領域の幅)よりも小さい間隔で格子から離間された検知面を有する。多相周期検出器の周期はP/2に等しいので、各々の検出器要素(51)または位相は、回折光の正の新たな方向の間の自然干渉(37)に原理的に応答する。好ましくは、格子からの検知面の間隔が、(ここで、φ=arcsin(3λ/P))よりも大きければ、検出器の応答は、1よりも大きな回折次数からの要素は実質的に含まない。
請求項（抜粋）：
相対移動を検出するための装置であって、 回折格子を備え、この回折格子は、光の供給源に対して相対移動可能であると共に、周期Pと、光を予め選択された波長λにおいて正と負の1次に回折させる特性とを有し、その正と負の1次は回折格子に近接する自然干渉の領域で互いに干渉することと、 波長λの光の第1と第2のビームで前記回折格子の領域を照明するための手段と、 光の第1と第2のビームからの正と負との第1次の間の回折格子の自然干渉の領域内に位置した検知面を有する周期検出器とを備え、 上記周期検出器は、予め選択された波長λ及び回折格子の周期Pの関数としての周期を有し、更に上記周期検出器は、それに入射する光に応答して出力信号を与えることにより、上記周期検出器は、前記検知面における前記回折格子からの正と負との1次回折の間の干渉に対して原理的に応答する相対移動検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 G
, G01D 5/38 A
