特許
J-GLOBAL ID：200903070523829436
圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、それらの製造方法およびプリンタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999001058
公開番号（公開出願番号）：WO1999-045598
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月10日
要約：
【要約】本発明の圧電体素子40は、圧雷体素子30の設置面と下部電極403との密着力を高める材料で構成された密着層401、密着層401の成分が下部電極403に拡散する現象を防止する材料で形成された拡散防止層402、拡散防止層402の上部に形成される下部電極403、下部電極403上に形成される電気機械変換作用を示す圧電体薄膜404、および、圧電体薄膜404上に形成され下部電極403と対になる上部電極405を備えている。拡散防止層402が密着層401の主成分であるチタンの拡散を防止する。
請求項（抜粋）：
電気機械変換作用を示す圧電体素子において、 圧電体素子の設置面と当該圧電体素子の下部電極との密着力を高める材料で構成された密着層と、 前記密着層の成分が前記電極に拡散する現象を防止する材料で形成された拡散防止層と、 前記拡散防止層の上部に形成される前記下部電極と、 前記下部電極上に形成される電気機械変換作用を示す圧電体薄膜と、 前記圧電体薄膜上に形成され前記下部電極と対になる上部電極と、を備えたことを特徴とする圧電体素子。
IPC (1件)：
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