特許

J-GLOBAL ID：200903070529199159

光学式ほこりセンサ光学系

発明者： 森本 幸博 ,  鈴木 二郎 ,  中野 貴敬 ,  安藤 俊行 ,  笠原 久美雄 ,  片木 孝至
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-317443
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146819
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 検出対象のほこりで発生したMie散乱による散乱光を直接的に検出器で検出する必要がなく、各部の設定精度が緩和された光学式ほこりセンサ光学系を得る。【解決手段】 検出対象のほこりの大きさに対して前方散乱を主とするMie散乱を発生させる波長の光源と、上記波長の光を検出する光検出器と、上記光源からの光が絞り込まれ、上記検出対象のほこりに照射される測定領域と、上記光源からの光を上記測定領域に絞り込む照射光学系と、上記測定領域付近の所定の位置に設置され、上記測定領域に絞り込まれた上記光源からの光を反射させる反射鏡と、上記反射鏡で反射された光を上記光検出器に導く集光光学系とを備え、上記Mie散乱による上記光検出器の出力の減少により、上記検出対象のほこりを検出する光学式ほこりセンサ光学系とする。

請求項（抜粋）：

検出対象のほこりの大きさに対して前方散乱を主とするMie散乱を発生させる波長の光源と、上記波長の光を検出する光検出器と、上記光源からの光が絞り込まれ、上記検出対象のほこりに照射される測定領域と、上記光源からの光を上記測定領域に絞り込む照射光学系と、上記測定領域付近の所定の位置に設置され、上記測定領域に絞り込まれた上記光源からの光を反射させる反射鏡と、上記反射鏡で反射された光を上記光検出器に導く集光光学系とを備え、上記検出対象のほこりで発生した上記Mie散乱による上記光検出器の出力の減少により、上記検出対象のほこりを検出することを特徴とする光学式ほこりセンサ光学系。

IPC (2件)：

G01N 15/06 ,  G01N 21/49

FI (3件)：

G01N 15/06 C ,  G01N 15/06 D ,  G01N 21/49 Z

Fターム (10件)：

2G059AA05 ,  2G059BB02 ,  2G059CC19 ,  2G059EE02 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22