特許
J-GLOBAL ID：200903070535683496
微小プローブ接近装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267467
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113519
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 走査プローブ顕微鏡および微小プローブ加工機において、Z駆動機構の送り量を無段階で調節でき、探針を破壊することなしに試料表面と探針間の距離を数mmから数Åの距離に接近させることを目的とする。【解決手段】 カンチレバー2又は試料を支持する軸を動かすのに電磁的な直動の力発生機部101(たとえばボイスコイルモーター等)を有しこの力伝達部61にダンパー部81を有し、ダンパー部81には、ヒーターを取り付け内部に粘弾性体(たとえばシリコン系のゴム類)を充填したり、あるいは電磁流体を充填し及電極を取り付けて外部から電界を印加し、粘弾性体あるいは電磁流体の粘弾性を可変または安定化させる。
請求項（抜粋）：
微小プローブを有し、このプローブを数mmから数Åの距離に近接させ試料表面の形状およびさまざま物理量(電位、磁気、摩擦、静電容量、等)を測定する走査プローブ顕微鏡または前記微小プローブを試料表面に近接させ試料表面を加工する微小領域加工機の微小プローブ接近装置において、前記試料と前記微小プローブとを近接させるのに前記試料またはプローブを支持する軸を動かす電磁的な直動の力発生機構(たとえばボイスコイルモーター等)を有しこの力伝達部にダンパー機構および直動用の軸受けを有することを特徴とする微小プローブ接近装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 A
, G01N 37/00 G
, H01J 37/28 Z
