特許

J-GLOBAL ID：200903070537460923

薬液吐出装置

発明者： 宮迫 靖彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163377
公開番号（公開出願番号）：特開2000-350957
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】 薬液吐出ノズルに残留している薬液を完全に除去でき、しかも薬液、洗浄液、窒素ガスの供給及び切替えが完全、確実に行える薬液吐出装置を得ること。【解決手段】 本発明の薬液吐出装置20は、薬液吐出ノズル21と、その薬液吐出ノズル21にレジスト、現像液などの薬液を供給するための薬液槽22と、薬液吐出ノズル21に洗浄液を供給して、その薬液吐出ノズル21に残留している薬液を除去するための窒素ガス供給手段24と、薬液吐出ノズル21の内部を洗浄するためにその薬液吐出ノズル21に洗浄液を供給するための洗浄液供給手段23とから構成されていて、それぞれに圧力調整器付きエアバルブ31、32、33が装着されており、また、これら相互間に逆流を防止するための逆止弁41、42、43、44が配設されている。

請求項（抜粋）：

薬液吐出ノズルと、該薬液吐出ノズルに薬液を供給する薬液供給手段と、前記薬液吐出ノズルに窒素ガスを供給して、その薬液吐出ノズルに残留している薬液、洗浄液をブローにより除去するための窒素ガス供給手段と、前記薬液吐出ノズルの内部を洗浄するためにその薬液吐出ノズルに洗浄液を供給するための洗浄液供給手段と、前記薬液供給手段と前記薬液吐出ノズルとの間に配設され、第1のエアバルブと第1の逆止弁とが装着された薬液供給パイプラインと、前記洗浄液供給手段と前記薬液吐出ノズルとの間に配設され、第2のエアバルブと第2の逆止弁とが装着された洗浄液供給パイプラインと、前記窒素ガス供給手段と前記薬液吐出ノズルとの間に配設され、第3のエアバルブと第3の逆止弁とが装着され、該第3の逆止弁の前記薬液吐出ノズル側が前記第1のエアバルブと前記第1の逆止弁との間に接続された第1の窒素ガス供給パイプラインと、前記窒素ガス供給手段と前記薬液吐出ノズルとの間に配設され、前記第3のエアバルブの出力側と、前記第2のエアバルブと前記第2の逆止弁との間に接続された第4の逆止弁が装着されている第2の窒素ガス供給パイプラインとから構成されていることを特徴とする薬液吐出装置。

IPC (7件)：

B05C 11/10 ,  B08B 3/04 ,  B08B 5/02 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/306

FI (9件)：

B05C 11/10 ,  B08B 3/04 Z ,  B08B 5/02 A ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/304 648 K ,  H01L 21/30 564 ,  H01L 21/30 569 A ,  H01L 21/306 J ,  H01L 21/306 R

Fターム (35件)：

2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096GA02 ,  2H096GA17 ,  2H096GA20 ,  2H096GA21 ,  3B116AA46 ,  3B116AB53 ,  3B116BB62 ,  3B116BB90 ,  3B116CC03 ,  3B201AA46 ,  3B201AB53 ,  3B201BB62 ,  3B201BB90 ,  3B201BB93 ,  3B201CB11 ,  3B201CC12 ,  4F042AA06 ,  4F042BA06 ,  4F042CB03 ,  4F042CB08 ,  4F042CB19 ,  4F042CC07 ,  4F042CC10 ,  5F043CC09 ,  5F043CC12 ,  5F043DD30 ,  5F043EE07 ,  5F043EE40 ,  5F043GG10 ,  5F046JA03 ,  5F046JA27 ,  5F046LA03 ,  5F046LA19