特許

J-GLOBAL ID：200903070538257803

クリーンルーム設備

発明者： 松浦 基雄 ,  井口 武久 ,  竹岡 政満 ,  服部 進司 ,  入江 直樹 ,  忍足 義彦 ,  矢島 康男
出願人/特許権者： 富士電機株式会社 ,  富士電機総設株式会社 ,  株式会社タクマ ,  株式会社忍足研究所
代理人 (1件)： 北村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307012
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145111
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 より確実に化学汚染物質を除去し、室内を清浄に保つことのできるクリーンルーム設備を提供すること。【解決手段】 クリーンルームA内の空気を取出す取出路1とクリーンルームAに空気を流入させる通風装置2とをクリーンルームAに連通接続し、前記取出路1から取出した空気を前記通風装置2へ循環させる循環路3を設け、前記通風装置2に前記クリーンルームA内への送風機4及び除塵フィルタ5を設けたクリーンルーム設備において、前記通風装置2内で前記除塵フィルタ5よりも上流側にイオン交換繊維を含んでなるイオン交換フィルタ6を設けた。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム(A)内の空気を取出す取出路(1)とクリーンルーム(A)に空気を流入させる通風装置(2)とをクリーンルーム(A)に連通接続し、前記取出路(1)から取出した空気を前記通風装置(2)へ循環させる循環路(3)を設け、前記通風装置(2)に前記クリーンルーム(A)内への送風機(4)及び除塵フィルタ(5)を設けたクリーンルーム設備であって、前記通風装置(2)内で前記除塵フィルタ(5)よりも上流側にイオン交換繊維(6)を含んでなるイオン交換フィルタを設けたクリーンルーム設備。