特許

J-GLOBAL ID：200903070543274791

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 矢野 歩
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-073290
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267941
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 探針と試料との間に流れるトンネル電流による励起光を、試料を傷つけることなく、短時間のうちに正確に検出して、STM像の各部における元素の同定に供することのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 走査型トンネル顕微鏡の走査探針1と試料Wとの間に流れるトンネル電流による励起光を分光検出器9,10に導く導光プローブ3を設けるとともに、複数のトンネル電流値に対応する分光検出器のS/Nをもとに、トンネル電流値と走査探針1の走査速度を自動的に設定することで、励起光の分光分析に有効な分光スペクトルを、試料Wを傷つけることなく短時間で得る。

請求項（抜粋）：

走査型トンネル顕微鏡と、その走査型トンネル顕微鏡の探針と試料との間で生じるトンネル電流により励起された試料の発光を分光検出器に導く導光プローブを備え、上記分光検出器による分光検出結果を元素の同定に供することにより、走査型トンネル顕微鏡による試料表面像に対応して各部の元素を同定するように構成された走査型プローブ顕微鏡であって、上記分光検出器のノイズと、複数のトンネル電流値に対して得られる試料の励起光の検出結果をもとに、あらかじめ設定された判定基準を用いてトンネル電流値および上記探針の走査速度を自動的に設定する条件設定手段を備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。