特許

J-GLOBAL ID：200903070544076713

物体の形状測定装置

発明者： 篠原 茂信 ,  鈴木 高志 ,  吉田 博文 ,  池田 弘明 ,  角 正雄
出願人/特許権者： 新技術事業団
代理人 (1件)： 阿部 龍吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-087424
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300536
出願日： 1993年04月14日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 光学系の小型化、移動物体の位置と形状の測定が可能な物体の形状測定装置を提供する。【構成】 光走査により移動する物体の形状を測定する物体の形状測定装置であって、光源1と受光器2を用い被測定物体からの反射光を受光器で検出して被測定物体までの距離と速度を測定する距離・速度計A、該距離・速度計Aからの出射光を2次元的に走査する光走査手段8〜14、該光走査手段による各走査時刻を計測する計時手段15、距離・速度計による測定値と光走査手段による走査点と計時手段による時刻から被測定物体の形状と位置を演算する演算手段16とを備えたことを特徴とする。この構成により、時刻毎に速度により距離補正を行って移動する被測定物体の形状を測定することができる。

請求項（抜粋）：

光走査により移動する物体の形状を測定する物体の形状測定装置であって、光源と受光器を用い被測定物体からの反射光を受光器で検出して被測定物体までの距離と速度を測定する距離・速度計、該距離・速度計からの出射光を2次元的に走査する光走査手段、該光走査手段による各走査時刻を計測する計時手段、距離・速度計による測定値と光走査手段による走査点と計時手段による時刻から被測定物体の形状と位置を演算する演算手段とを備えたことを特徴とする物体の形状測定装置。