固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326054
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206426
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】周辺回路の高抵抗化による高周波の信号転送用クロックパルスの伝達特性の劣化を防ぐ。【構成】アルミニウム遮光膜と同一工程で形成される第一のアルミニウム配線2を層間膜3を介して、第2のアルミニウム配線4とコンタクトをとることにより、周辺回路の配線抵抗を遮光膜の厚膜化なしに低抵抗化する。

請求項（抜粋）：

有効受光素子の周辺を遮光する遮光材料としてアルミニウムあるいは高融点金属を用いる固体撮像装置において、周辺回路の配線材料を前記遮光材料およびアルミニウムとの二層で形成することを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H01L 31/02 , H01L 31/10

FI (3件)：

H01L 27/14 D , H01L 31/02 A , H01L 31/10 Z

引用特許：

審査官引用 (8件)

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