特許

J-GLOBAL ID：200903070548654061

ボートおよびその設置構造

発明者： 米満 修司 ,  狩野 利一 ,  吉田 久志 ,  綿引 真一郎 ,  吉田 祐治 ,  志村 日出男 ,  杉本 毅 ,  油谷 幸則 ,  池田 和人
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 宮本 治彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287931
公開番号（公開出願番号）：特開平9-106956
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの受け渡しに適したボートおよびその設置構造を提供する。【解決手段】ボート40は、円柱状の底板201と天板202と、底板201と天板202との間に設けられ底板201および天板202に固定された2つの角柱状の支柱203、204とを備え、この支柱203、204の内側に複数のウェーハ載置用溝205、206が互いに対向してそれぞれ設けられている。このウェーハ載置用溝205、206の両端は前後方向に開放されているので、ボート40の両側からウェーハをそれぞれ搬入でき、両側にそれぞれ搬出できる。また、ボート40は石英からなっている。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの支柱固定用部材と、前記支柱固定用部材に固定された互いに対向する少なくとも一対の支柱と、前記少なくとも一対の支柱に、互いに対向して設けられた複数対の基板載置用の溝と、を有するボートにおいて、前記少なくとも一対の支柱が前記ボートの左右方向において前記支柱固定用部材に固定され、前記複数対の基板載置用の溝が前記ボートの前後方向にそれぞれ延在して設けられると共に、前記複数対の溝の両端が前記前後方向にそれぞれ開放されており、前記ボートの前記前後方向には、前記ボートへの基板の搬入および前記ボートからの前記基板の搬出を妨げるものを設けずに、前記ボートの前記前後方向からそれぞれ前記基板を前記ボートに搬入可能および前記基板を前記ボートから搬出可能にしたことを特徴とするボート。

IPC (2件)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/68 V