特許

J-GLOBAL ID：200903070553921868

ウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認方法および確認装置

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-154334
公開番号（公開出願番号）：特開2007-320001
出願日： 2006年06月02日
公開日（公表日）： 2007年12月13日
要約：

【課題】ウエーハの外周余剰領域に形成された環状の補強部の幅が許容範囲内に形成されているか否かを容易に確認することができる環状補強部の確認方法および確認装置を提供する。【解決手段】表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域とデバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハ10の裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削して所定厚さに形成するとともに、ウエーハ10の裏面における外周余剰領域に対応する領域が残存して形成された環状の補強部105bの幅寸法を確認するウエーハ10の外周部に形成される環状補強部の確認方法であって、裏面に環状の補強部が形成されたウエーハ10の表面側を回転可能に構成された保持テーブル91に保持し、保持テーブル91を所定角度回動する毎に撮像手段11によって環状の補強部105bを撮像して、環状の補強部105bの幅が許容範囲内に形成されているか否かを確認する。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハの裏面における該デバイス領域に対応する領域を研削して所定厚さに形成するとともに、ウエーハの裏面における該外周余剰領域に対応する領域が残存して形成された環状の補強部の幅寸法を確認するウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認方法であって、 裏面に環状の補強部が形成されたウエーハの表面側を回転可能に構成された保持テーブルに保持し、該保持テーブルを所定角度回動する毎に撮像手段によって環状の補強部を撮像して、環状の補強部の幅が許容範囲内に形成されているか否かを確認する、 ことを特徴とするウエーハの外周部に形成される環状補強部の確認方法。

IPC (3件)：

B24B 49/04 ,  B24B 7/04 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B49/04 Z ,  B24B7/04 B ,  H01L21/304 631

Fターム (15件)：

3C034AA08 ,  3C034BB27 ,  3C034BB93 ,  3C034CA02 ,  3C034CA13 ,  3C034CA22 ,  3C034CB03 ,  3C034CB14 ,  3C034DD01 ,  3C043BA03 ,  3C043BA09 ,  3C043BA12 ,  3C043BA15 ,  3C043CC04 ,  3C043DD06