特許
J-GLOBAL ID：200903070556914293
光学的ニアフィールド顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000795
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201353
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】本発明は、検出されるエバネッセント波を表面形状情報と物性情報に分離し、同時に表面形状と表面の光学特性の観察可能な光学的ニアフィールド顕微鏡を提供することを目的とする。【構成】本発明は、光源21から照射される試料25の表面形状情報を得るためのレーザ光(試料に吸収されない波長)と、試料25の表面物性情報を得るための白色光とをハーフミラ23により同一光軸に合成し、プリズム表面に接合された試料に全反射されるように入射させ、試料表面から漏れ出るエバネッセント波を光ファイバープローブ26で検出し、これを単色光成分(表面形状情報)と白色光成分(物性情報)に分離して、それぞれPM32,35で検出し、画像化することにより、試料25の表面形状と表面の光学特性の同時に得られる光学的ニアフィールド顕微鏡である。
請求項（抜粋）：
試料を保持するプリズムと、所定波長領域のレーザ光を照射する第1の光源と、白色光を照射する第2の光源と、前記レーザ光と白色光の各光軸を同一光軸に合成させ、前記プリズムに全反射角を満たす条件で入射させる手段と、前記試料から放出されるエバネッセント波を取り込む微小開口の先端を有する光ファイバープローブと、前記光ファイバープローブからのエバネッセント波をレーザ光成分と白色光成分に分離する光成分分離手段と、前記レーザ光成分のエバネッセント波の強度を光電変換して検出する第1光検出手段と、前記白色光成分のエバネッセント波の強度を光電変換して検出する第2光検出手段と、第1光検出手段からの信号により、前記光ファイバープローブのXY方向の走査、及び前記ファイバープローブと試料間距離を一定に保つようにZ方向の位置制御を行なうプローブ移動手段と、前記第2光検出手段からの信号により試料表面情報として画像化する表示手段とを具備することを特徴とする光学的ニアフィールド顕微鏡。
IPC (2件)：
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