特許

J-GLOBAL ID：200903070559727028

光学素子、光学装置、照明装置およびこれを具備した画像表示装置ならびに露光装置

発明者： 堂向 徹
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-154845
公開番号（公開出願番号）：特開平11-344683
出願日： 1998年06月03日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 空間コヒーレンスの低減あるいはスペックルの低減を図る光学素子、光学装置、照明装置、画像表示装置および露光装置を提供することである。【解決手段】 入射するコヒーレント光の光軸に対してほぼ45度傾斜するとともに互いに平行且つ一定の間隔dで配設する複数の反射面5aを有する第1の反射面5と、第1の反射面5での反射光の光軸に対してほぼ45度傾斜するとともに互いに平行且つ一定の間隔dで配設する複数の反射面7aを有する第2の反射面7とを有し、入射するコヒーレント光を第1の反射面5および第2の反射面7で反射させて順次一定の光路長差を有する複数の領域で構成される光束を生起し、第2の反射面7から分岐光を出射することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

入射するコヒーレント光の光軸に対してほぼ45度傾斜するとともに互いに平行且つ一定の間隔で配設する複数の反射面を有する第1の反射面と、前記第1の反射面での反射光の光軸に対してほぼ45度傾斜するとともに互いに平行且つ一定の間隔で配設する複数の反射面を有する第2の反射面とを有し、前記コヒーレント光を前記第1の反射面および前記第2の反射面で反射させて順次一定の光路長差を有する複数の領域で構成される光束を生起し、前記第2の反射面から前記光束を出射することを特徴とする光学素子。

IPC (4件)：

G02B 27/09 ,  G02B 27/10 ,  H01L 21/027 ,  H04N 5/74

FI (5件)：

G02B 27/00 E ,  G02B 27/10 ,  H04N 5/74 A ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 515 B