特許
J-GLOBAL ID：200903070564281240
マイクロアクチュエータおよびマイクロアクチュエータを使用したマイクロ電気機械式バルブ並びにそのバルブの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-258898
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116159
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 動作エネルギの効率がよく小型のマイクロ電気機械式バルブを提供する。【解決手段】 基板50上に間隔を介して対の支持体22を配置する。支持体22間には単結晶アーチ梁24を掛け渡す。アーチ梁24にはアクチュエータ部材26を連結し、このアクチュエータ部材26にバルブ板30を結合する。支持体22間に電位差を与えてアーチ梁24に電流を流すことで、アーチ梁24を通電加熱してアーチ梁24を湾曲変位し、アクチュエータ部材26を介してバルブ板30をその湾曲変位方向に移動する。アーチ梁24の通電加熱と通電加熱停止によって、バルブ板30の腕30aを基板50に設けたバルブ開口40の閉鎖位置と開放位置間に移動し、バルブ開口40の開閉を制御する。
請求項（抜粋）：
少なくもひとつの貫通開口を規定するマイクロ電子基板と;単結晶材料から構成され前記基板上に配置されて熱的駆動を行うマイクロアクチュエータと;単結晶材料から構成され少なくもひとつの弁座を備えた少なくもひとつのバルブ板と;を有し、前記バルブ板がマイクロアクチュエータに駆動されて移動動作が可能な状態で結合されると共に、前記弁座はバルブ板に対し、マイクロアクチュエータの熱的駆動により前記開口に結合されない開放位置と結合される閉鎖位置との間を移動する位置に設けられているマイクロ電気機械式バルブ。
IPC (4件)：
F16K 31/02
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, F16K 3/00
F16K 31/02 Z
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, F16K 3/00 C
