特許

J-GLOBAL ID：200903070568053099

加速度センサ

発明者： 大槻 靖則 ,  鈴木 秀夫 ,  吉田 哲男 ,  布田 良明
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216207
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066827
出願日： 1992年08月13日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：

【要約】【目的】 感度が高く、焦電効果にによる影響を受けず、破損しにくい加速度センサを得ること。【構成】 偶数層の圧電セラミックスシート(10-1〜)と電極層(11-a〜,12-a〜)が交互に積層され、同時焼結して得られる積層型セラミックスバイモルフ形の加速度センサであって、積層体(10)の中心の電極層(12-b)と上下の電極層間の圧電セラミックスシートは厚み方向で同じ向きに分極され、他の圧電セラミックスシートは電極層に対向する向きに分極され、積層体中心の電極層(12-b)を-電極層とし、-電極層より上下に1つおきの電極層を並列接続し共通-電極(13)とし、該-電極層以外の全ての電極層を並列接続して共通+電極(14)とした加速度センサ。圧電セラミックスシートの分極の向きと電極層の組合わせには別の形式もある。

請求項（抜粋）：

圧電効果を利用した加速度センサにおいて、圧電セラミックスシートと電極層が交互に積層された偶数層の圧電セラミックスシートを有し、同時焼結して得られる積層型セラミックスバイモルフ形の加速度センサであって、前記積層型セラミックスバイモルフ形の加速度センサの積層体中心の電極層と上下の電極層間の圧電セラミックスシートは厚み方向で同じ向きに分極され、他の圧電セラミックスシートは電極層に対向する向きに分極され、該積層体中心の電極層を-電極層とし、該-電極層より上下に1つおきの電極層を並列接続し共通-電極とし、該-電極層以外の全ての電極層を並列接続して共通+電極としたことを特徴とした加速度センサ。