特許

J-GLOBAL ID：200903070568427070

カップ回転式スピンコータ

発明者： 宮本 昌祐 ,  横田 晴男 ,  鈴田 広樹
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-048775
公開番号（公開出願番号）：特開平7-256194
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】 塗膜が形成された基板を取出す場合に、浮遊ミストが塗膜に付着する可能性を大幅に低減する。【構成】 内カップ本体17の外周下部に外向きフランジ部材17aを設けた。

請求項（抜粋）：

内部に塗膜形成板を収容してあるとともに、開閉可能な蓋(18)を有する内カップ(15)と、内カップ(15)を水平に保持して所定速度で回転させる内カップ駆動部(11)と、内カップ(15)を収容してあるとともに、開閉可能な蓋(21)を有する外カップ(19)とを備えたカップ回転式スピンコータにおいて、内カップ(15)の外側下部に外向きフランジ部材(17b)を設けてあることを特徴とするカップ回転式スピンコータ。

IPC (2件)：

B05C 11/08 ,  H01L 21/027