特許
J-GLOBAL ID：200903070570982897
基板収納装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-001349
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204630
出願日： 1998年01月07日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 カセットに収納された基板を搬送および保管する際に、製造環境からの異物やミストの付着を防止できる構造を有すると共に、収納された基板への悪影響を防止でき、また、作業時や洗浄時等における取扱が容易な基板収納装置を提供する。【解決手段】 基板6を収納したカセット1を導電性を有する金属で構成された開閉機構部9を有する扉7とカバー10で覆うと共に、カバー10にはカセット1内部の基板6確認用の覗き窓11を設ける。またカバー10は、カバー10に数カ所設けられた突起部14のみを支持部材4に接触させてネジ15によりカセット1に固定する。
請求項（抜粋）：
導電性樹脂材からなる上部板と下部板および一対の相対向する側面に設けられた複数の支持部材によって箱状に形成されたカセットと、基板を搬出入する開口面に設けられ開閉自在に支持された金属製の扉と、上記開口面以外の三側面を覆う金属製のカバーを備え、上記支持部材の内壁面に形成された保持部により複数の基板を一枚ずつ互いに間隔をあけて保持するよう構成されていることを特徴とする基板収納装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 V
, B65D 85/38 S
