特許
J-GLOBAL ID：200903070575688458
光学式変位センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-153743
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337816
出願日： 1999年06月01日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】本発明は、組立が容易で、低コストで、高精度で信頼性の高いスケールの変位センシングが可能となる光学式変位センサを提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、レーザ光源と、スケールと、光検出器とを具備し、前記レーザ光源の光ビーム出射面と前記スケールの回折格子が形成される面との間隔をz1、前記スケールの回折格子が形成される面と前記光検出器の受光面との間隔をz2、前記スケールの回折格子のピッチをp1、nを自然数としたとき、前記光検出器は、受光面上における前記回折千渉パターンのピッチ方向にnp1(z1+z2)/z1の間隔で形成された複数の受光エリアにより構成される光強度検出手段を有する光学式変位センサにおいて、半導体基板に集積形成され、上記レーザ光源から出射される光ビームを所定の角度で屈曲させる光学素子をさらに具備することを特徴とする光学式変位センサが提供される。
請求項（抜粋）：
所定の形状を有する光ビームを出射するレーザ光源と、前記レーザ光源から出射される光ビームを横切るように変位し、かつ、前記光ビームによる回折干渉パタ一ンを生成する所定周期の回折格子が形成されたスケールと、前記回折干渉パターンの所定部分を受光する光検出器とを具備し、前記レーザ光源の光ビーム出射面と前記スケールの回折格子が形成される面との間隔をz1、前記スケールの回折格子が形成される面と前記光検出器の受光面との間隔をz2、前記スケールの回折格子のピッチをp1、nを自然数としたとき、前記光検出器は、受光面上における前記回折千渉パターンのピッチ方向にnp1(z1+z2)/z1の間隔で形成された複数の受光エリアにより構成される光強度検出手段を有する光学式変位センサにおいて、半導体基板に集積形成され、上記レーザ光源から出射される光ビームを所定の角度で屈曲させる光学素子を、さらに具備することを特徴とする光学式変位センサ。
Fターム (14件)：
2F065AA02
, 2F065AA07
, 2F065BB02
, 2F065BB28
, 2F065DD00
, 2F065DD12
, 2F065FF48
, 2F065FF51
, 2F065GG06
, 2F065JJ02
, 2F065JJ25
, 2F065LL12
, 2F065LL42
, 2F065UU08
