特許
J-GLOBAL ID：200903070585190970
マイクロ波発振器
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248706
公開番号（公開出願番号）：特開2001-076897
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】マグネトロンを使用したマイクロ波発振器において、マグネトロンに供給するバイアス電圧を複数のMOSーFETを複数個直列接続するようにして、真空管の代替えとして使用するようにして安定化及び立ち上がり特性を改善したマイクロ波発振器を提供する。【解決手段】数キロボルト(ほぼ3KV)の直流高電圧を発生することができる高電圧電源と、数キロボルトの直流高電圧を直列に接続してある複数のMOSーFETに分圧して印加して、マグネトロンに供給するバイアス電圧(ほぼ2.5KV)を生成する定電圧発生部と、このバイアス電圧に基づいてマイクロ波を発生させるマグネトロンと、このマイクロ波に基づいてプラズマを発生させる空洞共振器とからなる。
請求項（抜粋）：
数キロボルトの直流高電圧を発生することができる高電圧電源と、前記数キロボルトの直流高電圧を直列に接続してある複数のスイッチング素子に分圧して印加して、マグネトロンに供給するバイアス電圧を生成する定電圧発生部と、該バイアス電圧に基づいてマイクロ波を発生させるマグネトロンと、該マイクロ波に基づいてプラズマを発生させる空洞共振器とからなるマイクロ波発振器。
FI (2件)：
H05H 1/46 R
, H05H 1/46 B
