特許
J-GLOBAL ID:200903070591206560

負イオン源

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西澤 利夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-034976
公開番号(公開出願番号):特開平6-251737
出願日: 1993年02月24日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】電子を抑制しつつ負イオンのみを効率よく、また、良好な収束性で引き出し加速する。【構成】中心開口部1を有する複数枚の金属薄板2a,2b,2cの間に、永久磁石3および冷却パイプ5をそれぞれ挿入した電極を負イオン源に配設する。
請求項(抜粋):
中心開口部を有する複数枚の金属薄板の間に、永久磁石および冷却パイプをそれぞれ挿入した電極を配設してなることを特徴とする負イオン源。
IPC (2件):
H01J 37/08 ,  H01J 27/02

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