特許
J-GLOBAL ID：200903070593655206
検出幅可変マーク検出方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-172163
公開番号（公開出願番号）：特開平7-006946
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 検出用スリット幅を可変にして、ウエハ位置合わせ用マーク検出系のS/N比を改善する。【構成】 固定板30に軸支され、周辺に複数の段差を有するカムローラー31と、中心部にカムフォロアー37を、両側に傾斜面361a,361b をそれぞれ有し、カムローラー31の回転により、カムフォロアー37が各段差に押圧されてXまたはY方向に段階的に移動する移動板36、および、上記のスリットを構成するナイフエッジ331a,331b をそれぞれ有し、固定板30にそれぞれのスプリング34a,34b により弾性的に結合され、傾斜面361a,361b に接触するローラー35a,35bを有する2個の可動片33a,33b によりスリット幅可変機構を構成し、第1および第2のCCDリニアセンサの検出信号のS/N比がそれぞれ良好となるように、各枠線に対する検出幅を最適の幅に設定する。
請求項（抜粋）：
ウエハに形成されたICチップのパターン検査に使用され、それぞれ正方形の外枠と内枠よりなる位置合わせマークを検査対象とし、該外枠および内枠の映像光を2分割するハーフミラーと、第1のスリット板を有し、該2分割された一方が入力し、該各マークのY方向の枠線のX座標値を測定する第1のCCDリニアセンサ、および第2のスリット板を有し、該2分割された他方が入力し、該各マークのX方向の枠線のY座標値を測定する第2のCCDリニアセンサを具備し、前記外枠と内枠の各中心の一致を検査する検査光学系において、前記第1および第2のスリット板のスリット幅をそれぞれ可変とするスリット幅可変機構を設け、該可変機構により前記各スリット幅をそれぞれ変化し、前記各枠線に対する前記第1および第2のCCDリニアセンサの検出信号のS/N比がそれぞれ良好となるように、該各枠線に対する検出幅をそれぞれ最適に設定することを特徴とする、スリット幅可変マーク検出方式。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01B 11/02
, G02B 26/02
, G03F 9/00
