蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大井正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-258684
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070932
出願日： 1991年09月11日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】本発明は、蒸着効率が高く、また大面積の基板上へも均一な膜厚分布で効率的に蒸着することができ、さらに堆積物の除去、回収作業が容易となる蒸着装置を提供することにある。【構成】蒸発源に対向する蒸着位置に基板を位置させて、この基板上に蒸発源物質を蒸着する蒸着装置において、前記蒸発源から前記基板が位置される蒸着位置に至る空間を取り囲むよう防着板を配置し、この防着板に加熱手段を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

蒸発源に対向する蒸着位置に基板を位置させて、この基板上に蒸発源物質を蒸着する蒸着装置において、前記蒸発源から前記基板が位置される蒸着位置に至る空間を取り囲むよう防着板を配置し、この防着板に加熱手段を設けたことを特徴とする蒸着装置。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-121659
特開平2-015165
特開平2-185965

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