特許

J-GLOBAL ID：200903070603897009

面型発光素子、面型発光素子アレー、およびその製造方法

発明者： 奥田 昌宏 ,  宮澤 誠一 ,  江崎 琢
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086569
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289912
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：

【要約】【課題】発光した光を外部に効率良く取り出し、発光効率を向上させた面型発光素子、及びその製造方法である。【解決手段】面型発光素子は、第一の導電型の半導体層104と第二の導電型の半導体層106に挟まれた発光活性層105を有する。また、第一の導電型の半導体層104の表面から第二の導電型の半導体層106まで達する第1の溝構造が形成され、更に第1の溝構造と交差する方向に第二の導電型の半導体層106の表面から第一の導電型の半導体層104まで達する第2の溝構造が形成された構造を持つ。

請求項（抜粋）：

第一の導電型の半導体層と第二の導電型の半導体層に挟まれた少なくとも1層以上の発光活性層を有する面型の発光素子において、前記第一の導電型の半導体層の表面から前記第二の導電型の半導体層まで達する第1の溝構造が形成され、さらに、前記第1の溝構造と交差する方向に前記第二の導電型の半導体層の表面から前記第一の導電型の半導体層まで達する第2の溝構造が形成された構造を持つことを特徴とする面型発光素子。

IPC (2件)：

H01L 33/00 ,  H01S 5/183

FI (2件)：

H01L 33/00 A ,  H01S 5/183

Fターム (32件)：

5F041AA03 ,  5F041CA04 ,  5F041CA12 ,  5F041CA34 ,  5F041CA35 ,  5F041CA36 ,  5F041CA40 ,  5F041CA46 ,  5F041CA66 ,  5F041CA74 ,  5F041CA76 ,  5F041CA77 ,  5F041CA82 ,  5F041CA92 ,  5F041CA93 ,  5F041CB01 ,  5F041CB02 ,  5F041CB25 ,  5F041EE25 ,  5F041FF01 ,  5F041FF06 ,  5F041FF11 ,  5F073AB02 ,  5F073AB17 ,  5F073BA02 ,  5F073BA06 ,  5F073BA09 ,  5F073CA04 ,  5F073CB02 ,  5F073DA06 ,  5F073DA25 ,  5F073DA35