特許

J-GLOBAL ID：200903070607444963

複合基板体およびその検査方法

発明者： 秋山 益國
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 古谷 栄男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170625
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004709
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 コンパクトで、かつ、ゲート素子の破壊されにくい複合基板体およびその検査方法を提供する。【解決手段】 レジスタ68およびNチャンネルMOSFET62を用いて所望のバンプ接合部42と親チップ34のグランドGND1とを選択的に導通状態にするとともに、該グランドGND1と子チップ36のグランドGND2との間に所定の電圧が印加されるようにする。このとき、ダイオードD4の順方向に流れる電流Iを測定することで、バンプ接合部42の接続状態を検査することができる。したがって、個々のバンプ接合部に対応した検査用パッドを設けることなく、各バンプ接合部の接続状態を検査することができるので、積層チップ32のコンパクト化を図ることができる。また、入出力パッド38に伝送ゲートなどのゲート素子を設ける必要がないので、該ゲート素子がサージ電圧などにより破壊されるおそれもない。

請求項（抜粋）：

1以上の第1の接続端子を備えた第1の基板と、第1の接続端子に対応する1以上の第2の接続端子を備えた第2の基板とを、対応する接続端子相互を接続して結合した複合基板体であって、第1の基板は、外部から入力または出力可能な第1の電源供給ラインと、所望の第1の接続端子と第1の電源供給ラインとを、選択的に実質的に導通状態にし得る選択導通部と、を備え、第2の基板は、第1の電源供給ラインと独立して設けられ外部から入力または出力可能な第2の電源供給ラインと、第2の端子と第2の電源供給ラインとの間に逆方向に挿入された実質的なダイオードと、を備えていること、を特徴とする複合基板体。

IPC (7件)：

G01R 31/28 ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  H01L 25/065 ,  H01L 25/07 ,  H01L 25/18

FI (5件)：

G01R 31/28 U ,  G01R 31/02 ,  G01R 31/26 G ,  H01L 21/66 R ,  H01L 25/08 B

Fターム (25件)：

2G003AA00 ,  2G003AB18 ,  2G003AG13 ,  2G003AH07 ,  2G014AA01 ,  2G014AB51 ,  2G032AA00 ,  2G032AD08 ,  2G032AL04 ,  4M106AA02 ,  4M106AA14 ,  4M106AA20 ,  4M106AB11 ,  4M106AD01 ,  4M106AD09 ,  4M106AD22 ,  4M106AD23 ,  4M106AD24 ,  4M106BA14 ,  4M106CA04 ,  4M106CA15 ,  4M106CA33 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ33