成形体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223475
公開番号（公開出願番号）：特開平7-076048
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：

【要約】【構成】基板上に、イオンビームアシスト蒸着法により無機物質からなる蒸着膜を少なくとも設けた成形体の製造方法において、該イオンビームアシスト蒸着を施す蒸着面をイオンビームクリーニング処理および/またはプラズマ処理することを特徴とする成形体の製造方法。【効果】本発明により得られた成形体は、蒸着膜の密着性が優れるため、高い表面硬度、優れた耐熱水性、優れた耐久性を有する。

請求項（抜粋）：

基板上に、イオンビームアシスト蒸着法により無機物質からなる蒸着膜を少なくとも設けた成形体の製造方法において、該イオンビームアシスト蒸着を施す蒸着面をイオンビームクリーニング処理および/またはプラズマ処理することを特徴とする成形体の製造方法。

IPC (5件)：

B29D 11/00 , C08J 7/00 302 , C08J 7/00 306 , C23C 14/02 , G02B 1/10

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