特許

J-GLOBAL ID：200903070614589284

ウエハの洗浄方法

発明者： 富盛 浩昭 ,  青木 秀充
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-212204
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031536
出願日： 2001年07月12日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：

【要約】【課題】 ウエハ中央部におけるゲート酸化膜の破壊、パーティクルの集中並びにウエハ上に形成された金属膜の酸化及び溶出を防止することができるウエハの洗浄方法を提供する。【解決手段】 洗浄するウエハ1の上方に洗浄水を噴射するノズル2を配置する。ノズル2の位置は、ノズル2の噴射口2aから噴射された洗浄水が、ウエハ1の中心3から1cm以上離れ、且つ中心3よりも手前側の位置4に落下するような位置に配置する。洗浄水の噴射方向とウエハ1の表面とのなす角度θを5乃至45°とする。

請求項（抜粋）：

ウエハをこのウエハの表面に垂直な軸を中心として回転させつつウエハの表面に洗浄液を供給してウエハを洗浄する方法において、前記洗浄液を前記ウエハの回転中心から1cm以上離れた位置に向けて噴射することを特徴とするウエハの洗浄方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 651 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 651 B ,  H01L 21/30 569 C

Fターム (3件)：

5F046LA02 ,  5F046LA04 ,  5F046LA08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭56-067926
  
• 洗浄方法及び洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-073255   出願人：株式会社荏原製作所
• 特開昭56-067926