特許

J-GLOBAL ID：200903070632401012

非破壊検査測定装置

発明者： 岩田 耕一
出願人/特許権者： コニカ株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-058960
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254510
出願日： 1995年03月17日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】 X線に対する吸収係数の値が小さい場合でも大きなコントラストを持つ感度の高い非破壊検査測定装置を実現する。【構成】 同一の回折格子定数を持ち、厚みが等しい4枚の平行平面板11〜14をそれぞれ平行に配置すると共に、第2の平行平面板と第3の平行平面板との間に被験物を配置し、第1の平行平面板11にブラッグ角にてX線を入射し、第1の平行平面板11を透過し第2の平行平面板12で回折されたX線と第1の平行平面板11で回折され第2の平行平面板12を透過したX線を共に被験物15に入射せしめ、被験物を透過した後、第3の平行平面板を透過し第4の平行平面板で回折されたX線と第3の平行平面板で回折され第4の平行平面板を透過したX線との干渉を検出器によって検出することにより被験物の内部検査測定を行うことを特徴とする非破壊検査測定装置。

請求項（抜粋）：

同一の回折格子定数を持ち、厚みが等しい4枚の平行平面板をそれぞれ平行に配置すると共に、第2の平行平面板と第3の平行平面板との間に被験物を配置し、第1の平行平面板にブラッグ角にてX線を入射し、第1の平行平面板を透過し第2の平行平面板で回折されたX線と第1の平行平面板で回折され第2の平行平面板を透過したX線を共に被験物に入射せしめ、被験物を透過した後、第3の平行平面板を透過し第4の平行平面板で回折されたX線と第3の平行平面板で回折され第4の平行平面板を透過したX線との干渉を検出器によって検出することにより被験物の内部検査測定を行うことを特徴とする非破壊検査測定装置。