特許
J-GLOBAL ID:200903070638038076
加速度センサ及び加速度検出装置並びに位置決め装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
青山 葆 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-180252
公開番号(公開出願番号):特開2002-107374
出願日: 2001年06月14日
公開日(公表日): 2002年04月10日
要約:
【要約】【課題】 限られた空間の中に設けることができ、回転加速度を高感度で検出できる加速度センサを提供する。【解決手段】 加速度センサ10は、歪変形により発生する電荷を出力するための電極11a,11b、21a、21bを設けた第1及び第2圧電素子1、2からなり、前記第1及び第2圧電素子のそれぞれは、少なくとも1つの圧電体4からなり、前記圧電体を支持する支持体部3を有していると共に、前記電極は、少なくとも前記圧電素子の相対する面にそれぞれ設けられており、前記第1圧電素子の一方の面と、第2圧電素子の一方の面とは、互いに実質的に平行となるように配置されてなる
請求項(抜粋):
歪変形により発生する電荷を出力するための電極を設けた第1及び第2圧電素子からなり、前記第1及び第2圧電素子のそれぞれは、少なくとも1つの圧電体からなり、前記圧電体を支持する支持体部を有していると共に、前記電極は、少なくとも前記圧電素子の相対する面にそれぞれ設けられており、前記第1圧電素子の一方の面と、第2圧電素子の一方の面とは、互いに実質的に平行となるように配置されてなることを特徴とする加速度センサ。
IPC (5件):
G01P 15/09
, G01P 15/00
, G11B 21/08
, G11B 21/10
, H01L 41/08
FI (5件):
G01P 15/09
, G11B 21/08 B
, G11B 21/10 V
, G01P 15/00 Z
, H01L 41/08 Z
Fターム (4件):
5D088PP01
, 5D088TT10
, 5D088UU07
, 5D096VV03
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