特許

J-GLOBAL ID：200903070643004120

欠陥検出方法及び欠陥検出装置

発明者： 野島 和久 ,  赤堀 智基
出願人/特許権者： 株式会社ソニー・ディスクテクノロジー
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-359062
公開番号（公開出願番号）：特開2001-175859
出願日： 1999年12月17日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 画像処理により検査対象物の外観の欠陥を検査する欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供するにある。【解決手段】 検査対象物の外観に生じている欠陥を画像処理により検査する欠陥検出方法及び欠陥検出装置であって、検査対象物の各検査ポイントにおける画像データを、所定の平均値と比較することにより欠陥を検出するものである。

請求項（抜粋）：

検査対象物の外観に生じている欠陥を画像処理により検査する欠陥検出方法であって、該検査対象物の各検査ポイントにおける画像データを、所定の平均値と比較することにより前記欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01N 21/01 ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 400

Fターム (53件)：

2G051AA41 ,  2G051AA71 ,  2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA00 ,  2G051BA11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA20 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07 ,  2G059AA05 ,  2G059BB15 ,  2G059CC20 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059FF06 ,  2G059GG00 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ19 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059MM03 ,  2G059MM09 ,  2G059MM10 ,  5B057AA02 ,  5B057BA02 ,  5B057BA19 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE05 ,  5B057CE09 ,  5B057CF05 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA08 ,  5B057DA13 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC16