特許

J-GLOBAL ID：200903070644997859

ステージ装置および露光装置

発明者： 高橋 正人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-031864
公開番号（公開出願番号）：特開平11-231079
出願日： 1998年02月13日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 ステージに生じる振動を抑制する。【解決手段】 定盤12に対し少なくとも一方向に移動可能に設けられたステージ14を有するものであって、ステージ14には、容器体と該容器体内に充填された複数の粒状体とを有するダンパ装置80が設けられており、ステージ14に振動が生じると、この振動が容器体に伝わって該容器体内の粒状体を振動させる。すると、粒状体同士が接触して熱を発生させることになり、よって、振動のエネルギーを熱エネルギーに変換して消費する。

請求項（抜粋）：

定盤に対し少なくとも一方向に移動可能に設けられたステージを有するステージ装置において、前記ステージには、容器体と該容器体内に充填された複数の粒状体とを有するダンパ装置が設けられていることを特徴とするステージ装置。

IPC (7件)：

G12B 5/00 ,  B23Q 1/25 ,  B23Q 11/00 ,  F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (10件)：

G12B 5/00 T ,  B23Q 11/00 A ,  F16F 15/02 A ,  F16F 15/02 C ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 B ,  B23Q 1/14 B