特許
J-GLOBAL ID：200903070662849077
静電吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-233770
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094576
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 静電吸着装置に関し,片剥がれ防止を目的とする。【構成】 吸着された被支持体4を剥離する機構を有する静電吸着装置において,吸着面の中央部は,吸引電極2からの漏洩電流により吸着面に真電荷を蓄積してジョンソンラーベック力を発生する低抵抗型静電吸着部を構成し,吸着面の周辺部の少なくとも一部は,吸引電極2の印加電圧の消滅とともに吸着力が消滅する高抵抗型静電吸着部を構成する。
請求項（抜粋）：
絶縁体(1)中に少なくとも一部が埋設された吸引電極(2)と,該吸引電極(2)に印加された高電圧により該絶縁体(1)に設けられた吸着面上に吸着された被支持体(4)を剥離する機構とを有する静電吸着装置において,該吸着面の中央部は,該吸引電極(2)からの漏洩電流により該吸着面に真電荷を蓄積してジョンソンラーベック力を発生する低抵抗型静電吸着部を構成し,該吸着面の周辺部の少なくとも一部は,該吸引電極(2)の印加電圧の消滅とともに吸着力が消滅する高抵抗型静電吸着部を構成することを特徴とする静電吸着装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H01L 21/027
, H02N 13/00
