走査電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-205940
公開番号（公開出願番号）：特開平9-055181
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡の光軸上に光学顕微鏡対物レンズ部を配置する構造で2次電子の検出効率を著しく向上させることができる走査電子顕微鏡を実現する。【解決手段】試料4への電子ビームの照射によって試料4からは2次電子が発生する。ここで、光学顕微鏡の対物レンズ部11に電源17から電圧が印加されていることから、接地電位の試料4と磁界型対物レンズ3との間には、軸対称な電界が生じている。この電界により、一次電子ビームの照射によって発生した2次電子eは、上方に向かって強く加速される。2次電子eは、磁界型対物レンズ3の磁界と、上記加速電場のレンズ作用によって、2次電子ビーム(方向の揃った電子線束)となり、光学顕微鏡対物レンズ部11の導電性パイプ16をパイプ壁に衝突すること無く通過する。

請求項（抜粋）：

電子ビーム発生源と、電子ビーム発生源から発生し加速された電子ビームを試料上に細く集束するための磁界型対物レンズと、試料上で電子ビームの走査を行うための電子ビーム偏向手段と、磁界型対物レンズの上部の電子ビーム光軸から離れた位置に設けられた2次電子検出器と、電子ビーム光軸上に光を導入するための電子ビーム通過孔を有した光学ミラーと、磁界型対物レンズに接近して設けられ、中心に電子ビーム通過開口を有した光学顕微鏡対物レンズ部と、光学顕微鏡対物レンズ部のレンズを囲むように設けられた導電体とを備えており、導電体に試料電位に対して正の電位を印加するように構成した走査電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 , H01J 37/22 502 , H01J 37/244

FI (3件)：

H01J 37/28 Z , H01J 37/22 502 L , H01J 37/244

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