特許
J-GLOBAL ID：200903070667268846
縞状パターンの形成方法およびこの方法に使用されるマスキング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069740
公開番号（公開出願番号）：特開平9-263932
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 基板表面に一定ピッチの凹凸を有する縞状パターンを形成して光学的ローパスフィルタを製造する際、基板の表面に線材を一定ピッチで配列して薄膜材料を蒸着する方法が実施されるが、基板表面に、線材を高精度なピッチで張設するのが困難であった。【解決手段】 マスキング装置Mでは保持部材10の両側にねじ溝を有する溝付棒12a,12bが固定され、保持部材10の基板保持部と逆側の面に弾性力が与えられた張力付与部材21が設けられている。線材は両溝付棒12a,12bおよび張力付与部材21に渡って螺旋状に巻かれるが、ねじ溝が固定して設けられ、張力付与部材21が保持部材10の上面側に設けられているため、張力付与部材21で線材Lに張力を与える際ねじ溝の位置が変わることがなく、線材Lがねじ溝から外れず、線材Lが高精度なピッチで基板1の表面に張設される。
請求項（抜粋）：
所定方向に等ピッチに形成された断面がVまたはU形状の溝列が両側部に対称に設けられた保持部材を用い、線材を前記一方の溝列の溝から保持部材の一方の面上を通過して他方の溝列の溝に掛けさらに他方の面上を通過して前記一方の溝列の前記溝と隣接する溝に掛けるようにして螺旋状に巻く工程と、保持部材から反発する方向の弾性力により前記線材に張力を付与して巻き付けを完了する工程と、前記巻き付けが完了した後またはそれ以前に前記保持部材の一方の面に基板を設置する工程と、一定ピッチで張設された前記線材をマスクとして前記基板の表面に薄膜材料による縞状パターンを形成する工程と、パターン形成後の基板を前記保持部材から取り出す工程とを有することを特徴とする縞状パターンの形成方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 14/04 A
, H05K 3/14 A
, H05K 3/14 B
