ローター具備の微小機械及びローター具備の微小機械の形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高月亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162305
公開番号（公開出願番号）：特開平5-336761
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】ローター具備の微小機械であって、ローターの摩擦・磨耗を防ぐことができ、長寿命で安定に作動でき、必ずしも窒素等の雰囲気下に置かなくてもよくて環境に拘らず駆動可能であるモータ、リンク、ポンプ等ローター具備の微小機械及びその製造方法を提供すること。【構成】ローター10を要素として有するモータ等の微小機械であって、該ローター10は極性部分31を有し、該ローター10を支持する支持部は該ローターの極性部と同極性の極性部分32を有することにより、両極性部分31,32相互の反発力によって該ローター10が浮上する構成のローター具備の微小機械、及び、磁性材料埋め込み、もしくはイオン注入等のイオン拡散領域形成により極性材料を形成するその製造方法。

請求項（抜粋）：

ローターを要素として有する微小機械であって、該ローターは極性部分を有し、該ローターを支持する支持部は該ローターの極性部分と同極性の極性部分を有することにより、両極性部分相互の反発力によって該ローターが浮上する構成になっていることを特徴とするローター具備の微小機械。

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-049878
特開昭54-085691
特開平3-213715

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