特許
J-GLOBAL ID：200903070683908227
記録媒体、その製造方法、及び該記録媒体を用いた記録・再生装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-267241
公開番号（公開出願番号）：特開平7-121917
出願日： 1993年10月26日
公開日（公表日）： 1995年05月12日
要約：
【要約】【目的】 素子分離が微細になされ、素子密度の高い記録媒体を提供する。【構成】 基板1上に支持電極2を介して電気メモリー効果を有する記録層3が形成され、該記録層3上に、電子線照射により形成された堆積物パターン4により分離された複数の上部電極6が設けられている。各上部電極6に対応してMIM構造のスイッチング素子が構成されている。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に形成された支持電極と、該支持電極上に形成された電気メモリー効果を有する記録層と、該記録層上に相互に所定の距離を介して分離された複数個の上部電極を具備し、各上部電極に対応してスイッチング素子が構成された記録媒体であって、前記上部電極の夫々は、前記電気メモリー効果を有する層の上面に電子線を照射することで形成された堆積物パターンによって分離されていることを特徴とする記録媒体。
IPC (4件)：
G11B 9/10
, C08G 73/10 NTF
, H01L 51/00
, H01L 49/02
