特許
J-GLOBAL ID：200903070686555180
ガラスセラミックス多層基板の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-088344
公開番号（公開出願番号）：特開2000-281452
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月10日
要約：
【要約】【課題】 焼結時にキャビティ部やスルーホール部周辺の変形を防ぎ、かつ製造工数を低減し、生産性が向上するガラスセラミックス多層基板の製造方法を提供する。【解決手段】 グリーンシート積層体1のキャビティ部11、12およびスルーホール部21、22、23、24と、Al2O3グリーンシート4および5の穴部31、32、41、42、43、44、51、52、53および54とがそれぞれ連通するように、グリーンシート積層体1の上下両面にAl2O3グリーンシート4および5を配置し、圧力を負荷しながら焼成する。これにより、キャビティ部11、12およびスルーホール部21、22、23、24近傍に伝達される荷重が比較的小さくなり、平面方向に変形する量が限定される。したがって、キャビティ部およびスルーホール部の変形量が比較的小さくなり、キャビティ部およびスルーホール部の形状を高精度に確保することができる。
請求項（抜粋）：
ガラスセラミックスのグリーンシートを積層して低温焼成工程によって製造されるキャビティ部および/またはスルーホール部を有するガラスセラミックス多層基板を製造する方法であって、前記ガラスセラミックスよりも焼結温度の高い無機成分を主として含有する成形体に前記ガラスセラミックスのグリーンシート積層体のキャビティ部および/またはスルーホール部に対応する位置に穴部を形成する工程と、前記グリーンシート積層体のキャビティ部および/またはスルーホール部と前記穴部とがそれぞれ連通するように、前記グリーンシート積層体の上下両面に前記成形体を配置する工程と、前記グリーンシート積層体および前記成形体を焼成する工程と、を含むことを特徴とするガラスセラミックス多層基板の製造方法。
FI (2件)：
C04B 35/64 G
, C04B 35/64 L
