特許
J-GLOBAL ID：200903070692605890
差動排気型真空吸着治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-193272
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050336
出願日： 1993年08月04日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】 板状物の損傷や異物の付着を生じることなく、板状物の取扱を的確に行うことが可能な差動排気型真空吸着技術を提供する。【構成】 アーム2を介して所望の機器に支持される治具本体1の保持面3に、吸引穴4aおよび吸引路を介して外部の真空源に接続された矩形枠状の吸引溝4と、この吸引溝4を取り囲むように同じく矩形枠状に刻設され、ガス供給路およびガス吹き出し穴5aを通じて外部のガス源に接続される吹き出し溝5とを備え、吸引溝4の真空排気によってウェハに作用する吸引力と、吹き出し溝5からのガスGの流れによる斥力のバランス、およびガスGのエアベアリング作用によって、ウェハを保持面3に対して非接触に保持する差動排気型真空吸着治具である。
請求項（抜粋）：
板状物の保持動作を行う差動排気型真空吸着治具であって、前記板状物に対向する保持面に、負圧による吸引動作を行う吸引部と、所望のガスを吹き出す動作を行う吹き出し部とを兼ね備えたことを特徴とする差動排気型真空吸着治具。
IPC (2件)：
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