レーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋爪良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-293861
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120587
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】本発明はレーザ装置に係わり、特には、キャビティの変形が少なく、かつ、チャンバーの保守点検が容易なレーザ装置に関するものである。【構成】レーザの共振器が、レーザチャンバ10を挟んで、前記レーザチャンバと独立して複数本のインバーロッド21,22,24で固定されたプレート6に取着されたレーザ装置において、レーザチャンバを挟んでインバーロッドを支持する軸受け4,5,9を設置した2つのプレートを配置し、前記2つのプレートの内、少なくとも片方のプレートのインバーロッドの軸受けをレーザの光軸方向に対して摺動可能な手段を備えている。また、レーザチャンバ10をレーザの光軸に対して略垂直方向にスライドさせる手段として、前記レーザチャンバに移動ローラとガイドローラを設置し、ガイドに従ってレール上を移動する手段を備えている。

請求項（抜粋）：

レーザの共振器が、レーザチャンバを挟んで、前記レーザチャンバと独立して複数本のインバーロッドで固定されたプレートに取着されたレーザ装置において、レーザチャンバを挟んでインバーロッドを支持する軸受けを設置した2つのプレートを配置し、前記2つのプレートの内、少なくとも片方のプレートのインバーロッドの軸受けをレーザの光軸方向に対して摺動可能な手段を備えたことを特徴とするレーザ装置。

IPC (2件)：

H01S 3/02 , H01S 3/08

FI (2件)：

H01S 3/02 Z , H01S 3/08 Z

引用特許：

出願人引用 (18件)

特開平1-140688
特開昭63-157485
特開昭63-048877

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審査官引用 (36件)

特開平1-140688
特開平1-140688
特開昭63-157485

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