特許

J-GLOBAL ID：200903070703903863

変形可能ミラー及びその製造方法及び光学装置並びに記録再生装置

発明者： 的場 宏次 ,  平田 進 ,  石井 頼成 ,  阿部 新吾 ,  恩田 裕 ,  乾 哲也
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312917
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152505
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】変形可能ミラーのミラー面が環境の変動等により変化してしまう。また、変形可能ミラーが大型であるため、記録再生装置に使用した場合、装置自体の大型化をもたらす。【解決手段】可撓性部材2は、弾性変形可能な部材であり、表面に入射光を反射するミラー面2aを有している。基板6は、その可撓性部材2の下方に設置され、可撓性部材2の裏面と対向する部分に参照面を有している。可撓性部材2に形成された上部電極8は、基板6に形成された下部電極12との間に電位差が印加されると、静電気力により基板6に引き付けられる。これにより、可撓性部材2が基板6に吸着し、ミラー面2aを変形させる。

請求項（抜粋）：

入射光を反射する反射面を有し、該反射面を変形することにより前記入射光に球面収差を与える変形可能ミラーにおいて、表面に前記反射面を有する弾性変形可能な可撓性部材と、前記可撓性部材の下方に設置され、前記可撓性部材の裏面と対向する部分に参照面を有する基板と、前記可撓性部材を前記参照面に吸着させることにより、前記反射面を前記球面収差に対応する形状に変形させる駆動手段と、を有してなることを特徴とする変形可能ミラー。

IPC (5件)：

G02B 5/10 ,  G02B 7/198 ,  G02B 17/00 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/135

FI (6件)：

G02B 5/10 B ,  G02B 17/00 Z ,  G11B 7/09 E ,  G11B 7/135 Z ,  G11B 7/135 A ,  G02B 7/18 B