特許
J-GLOBAL ID：200903070736116581
半導体加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337353
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178770
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】【課題】 重り上下のダンピング定数を等しくし、高周波あるいは過大な加速度が入力された時の波形歪みを小さくして、出力誤差を低減すること。【解決手段】 (100)シリコン基板を裏面から異方性エッチングして得られる、四角錘状の重り3を肉薄の梁2で周囲のフレーム4に支持する構造体を重り3と対向した窪みを有するような台座1とキャップ5で両側から挟み込んでサンドウィッチ構造形成し、重り3の上面の面積S1と底面の面積S2に対して、対応するエア・ギャップ7,8の長さd1とd2が、S12 /d13 =S22 /d23 の関係式を満足する構成とした。
請求項（抜粋）：
(100)シリコン基板を裏面から選択的に異方性エッチングして得られる四つの側面が(111)面で上下面が(100)面であるような四角錘状の重りを肉薄の単数もしくは複数の梁で周囲のフレームに懸架・支持するような構造体と、前記梁上に形成され前記梁上の応力を検出するためのピエゾ抵抗と、前記重りと対向する窪みを有して前記シリコン基板の裏面に接合された台座と、前記重りと対向する窪みを有して前記シリコン基板の上面に接合されたキャップとを有して前記シリコン基板と垂直方向に印加された加速度を該ピエゾ抵抗の抵抗値変化として検出するような半導体加速度センサにおいて、前記重りの上面の面積S1と前記重りの底面の面積S2に対して、前記重りの上面と底面が前記キャップ及び台座との間でそれぞれ形成するエア・ギャップの長さd1とd2が関係式S12 /d13 =S22 /d23を満足するように前記窪みの深さが設定され、正方向と負方向の加速度に対する前記エア・ギャップによるエア・ダンピングのダンピング定数が等しくなっていることを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/12
, H01L 29/84 B
