特許

J-GLOBAL ID：200903070737886755

欠陥検出方法及び欠陥検出装置

発明者： 小沢 金吾 ,  堂 通久
出願人/特許権者： 株式会社トキメック
代理人 (1件)： 石戸 久子 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078716
公開番号（公開出願番号）：特開2000-276592
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】位置・角度の誤差に対してより頑健かつできるだけ簡易に実現できる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。【解決手段】撮像部12で検査対象の撮像を行い、画像入力部14で画像を生成し、検査画像抽出部20で、この画像中の所定の位置及び大きさの1つまたは複数の画像を検査画像として抽出する。また、画像記憶部16に記憶された正常な検査対象を表す画像から、部分画像抽出部22で、前記検査画像に対応する位置から所定範囲内に位置する前記検査画像と同じ大きさのすべての部分画像を抽出する。差異検出部24で、前記検査画像と前記すべての部分画像とを比較して差異部分を検出し、差異部分の画素数または面積が最も小さくなるときの該差異部分の画素数または面積を差異記憶部28で記憶し、この差異部分に基づいて欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

正常な検査対象を表す画像と、検査対象を撮像して得られた画像とを比較して、その差異から欠陥を検出する欠陥検出方法において、検査対象を撮像して得られた画像の全体もしくは一部である検査画像と、正常な検査対象を表す画像中において前記検査画像に対応する位置から所定範囲内に位置する前記検査画像と同じ大きさのすべての部分画像と、を比較して、比較によって検出される差異部分の画素数または面積が最小となるときの部分画像と検査画像との差異部分に基づいて欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G06F 15/62 405 A ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/70 330 N

Fターム (25件)：

2G051AA65 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED07 ,  2G051ED22 ,  5B057AA03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096EA14 ,  5L096HA07 ,  9A001BZ03 ,  9A001HH21 ,  9A001HH25 ,  9A001JJ45 ,  9A001KK37