特許
J-GLOBAL ID:200903070738894395
多層膜フィルター
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-136429
公開番号(公開出願番号):特開2000-329933
出願日: 1999年05月17日
公開日(公表日): 2000年11月30日
要約:
【要約】【課題】 膜材料を変えなくても阻止域の幅を変えることができる多層膜フィルタを製造する。【解決手段】 屈折率の異なる2種類以上の物質を積層してなる多層膜フィルターであって、高屈折率物質をH、低屈折率物質をL、設計波長をλとした場合、Lからなる光学的膜厚nLd1が0.2×λ≦nLd1≦0.3×λの低屈折率層L1、Hからなる光学的膜厚nHd2が0.025×λ≦nHd2≦0.05×λの低屈折率層H2、Lからなる光学的膜厚nLd3が0.025×λ≦nLd3≦0.05×λの低屈折率層L3、Hからなる光学的膜厚nHd4が0.2×λ≦nHd4≦0.3×λの低屈折率層H4、Lからなる光学的膜厚nLd5が0.025×λ≦nLd5≦0.05×λの低屈折率層L5、Hからなる光学的膜厚nHd6が0.025×λ≦nHd6≦0.05×λの低屈折率層H6からなり、(L1H2L3H4L5H6)の順で並んだ膜構成が連続して複数回繰り返される部分を有している。
請求項(抜粋):
屈折率の異なる2種類以上の物質を積層してなる多層膜フィルターであって、高屈折率物質をH、低屈折率物質をL、設計波長をλとした場合、Lからなる光学的膜厚nLd1が0.2×λ≦nLd1≦0.3×λの低屈折率層L1Hからなる光学的膜厚nHd2が0.025×λ≦nHd2≦0.05×λの低屈折率層H2Lからなる光学的膜厚nLd3が0.025×λ≦nLd3≦0.05×λの低屈折率層L3Hからなる光学的膜厚nHd4が0.2×λ≦nHd4≦0.3×λの低屈折率層H4Lからなる光学的膜厚nLd5が0.025×λ≦nLd5≦0.05×λの低屈折率層L5Hからなる光学的膜厚nHd6が0.025×λ≦nHd6≦0.05×λの低屈折率層H6からなり、(L1H2L3H4L5H6)の順で並んだ膜構成が連続して複数回繰り返される部分を有することを特徴とする多層膜フィルター。
IPC (2件):
G02B 5/28
, B32B 7/02 103
FI (2件):
G02B 5/28
, B32B 7/02 103
Fターム (18件):
2H048GA04
, 2H048GA14
, 2H048GA33
, 2H048GA56
, 4F100AA20
, 4F100AA21
, 4F100AG00
, 4F100AR00A
, 4F100AR00B
, 4F100BA02
, 4F100EH66
, 4F100GB56
, 4F100JA20A
, 4F100JA20B
, 4F100JN18A
, 4F100JN18B
, 4F100YY00A
, 4F100YY00B
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