ターンテーブルのブレーキ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-281499
公開番号（公開出願番号）：特開平10-109265
出願日： 1996年10月01日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】ターンテーブルを確実に停止させるターンテーブルのブレーキ装置を提供すること。【解決手段】ターンテーブルの下面に取り付けられる円筒状のブレーキドラム10と、ブレーキドラム10の外周面に接近した状態で配置される円弧状の2枚のブレーキシュー20,30と、ブレーキシュー20,30を駆動してブレーキシュー20,30をブレーキドラム10の外周面へ接触或いは離脱せしめるブレーキシュー駆動機構40とを具備する。ブレーキシュー駆動機構40は駆動レバー41とエアシリンダ57とコイルスプリング65とによって構成される。

請求項（抜粋）：

トップリングに保持したポリッシング対象物の表面を研磨する研磨面を有するターンテーブルにおいて、前記ターンテーブルの所定位置にターンテーブルの回転を制動するブレーキ装置を取り付けたことを特徴とするターンテーブルのブレーキ装置。

IPC (3件)：

B24B 37/04 , B23Q 1/52 , H01L 21/304 321

FI (3件)：

B24B 37/04 A , H01L 21/304 321 E , B23Q 1/16

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