超音波洗浄方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117802
公開番号（公開出願番号）：特開平10-309548
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】確実な洗浄を行なうことができると共に、被洗浄物から除去された汚染物の再付着を防止し、高清浄の洗浄が行なえる超音波洗浄方法及び装置を提供する。【解決手段】移動する被洗浄物4に洗浄液3を供給すると共に所定の入射角度Tで超音波を印加し、被洗浄物4に漏洩弾性表面波或いは漏洩板波或いは弾性表面波或いは板波を励起し、被洗浄物4の表面から汚染物7を除去する。除去された汚染物7は、漏洩弾性表面波等の伝搬方向と被洗浄物4の移動方向と所定の関係を有して供給される洗浄液3により流出される。そのため、除去された汚染物7が被洗浄物4の洗浄面に再付着することはない。

請求項（抜粋）：

被洗浄物に洗浄液を供給すると共に超音波を印加し、前記被洗浄物に漏洩弾性表面波及び/又は漏洩板波及び/又は弾性表面波及び/又は板波を励起せしめて被洗浄物の表面に流動力を発生せしめて該表面の汚染物を除去することを特徴とする超音波洗浄方法。

IPC (2件)：

B08B 3/12 , H01L 21/304 341

FI (2件)：

B08B 3/12 Z , H01L 21/304 341 N

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