特許
J-GLOBAL ID：200903070770572456
基板処理装置と基板処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-160013
公開番号（公開出願番号）：特開2001-334141
出願日： 2000年05月30日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
要約：
【要約】【課題】 電力のみが供給されていれば、制御機器が停止しても真空チャンバの内部の排気と加熱を継続し、基板の処理可能な状態に保つとともに、外的要因により真空チャンバの内部状態が変化し危険な状態になった場合は、真空ポンプによる排気またはヒータによる加熱を緊急停止させて、安全の確保を行う。【解決手段】 電力が供給されていれば装置全体を制御する制御機器10が停止しても、真空ポンプ2と真空バルブ4とを作動状態に保持し、かつ圧力センサ5からの排気停止を必要とする信号により、前記真空ポンプ2と前記真空バルブ4とを停止状態に切替えるとともに、温度調節器9からの電力遮断を必要とする信号により、電力遮断器8を作動させヒータ6の加熱を停止させるリレー回路11を設ける。
請求項（抜粋）：
内部を低圧に保つことができる真空チャンバと、前記真空チャンバの内部を低圧保持のために排気する真空ポンプと、前記真空チャンバと前記真空ポンプを接続した排気管と、前記排気管に配設され開閉により前記真空チャンバの排気の開始と停止を行う真空バルブと、前記真空チャンバの内部を加熱するヒータと、前記真空チャンバの温度を測定する温度センサと、前記温度センサの出力信号に基づいて前記ヒータへの供給電力を調整することで前記真空チャンバの温度を制御すると共に前記温度センサからの信号により所定温度値より高い温度と判断した場合にその旨の高温信号を出力する温度調節器と、前記ヒータへの供給電力を遮断状態又は供給状態のいずれか一方にする電力遮断器と、前記真空チャンバ内部の圧力を測定し、その圧力値が一定値より高い場合にその旨の信号を出力する圧力センサと、装置全体を制御すると共に前記温度調節器に真空チャンバの温度を制御する信号を与え、かつ後記リレー回路に真空チャンバの圧力を制御する信号を与える制御機器と、前記制御機器が停止しても、前記温度調節器を作動状態に維持すると共に、前記真空ポンプと前記真空バルブとを作動状態に保持する一方、前記圧力センサからの前記高圧信号により、前記真空ポンプと前記真空バルブとを停止状態に切替えると共に、前記温度調節器からの前記高温信号により、前記電力遮断器を遮断状態とし前記ヒータへの電力供給を停止させるリレー回路とを設けたことを特徴とする基板処理装置。
IPC (4件)：
B01J 3/02
, H01L 21/205
, H05H 1/46
, C23C 16/52
B01J 3/02 K
, H01L 21/205
, H05H 1/46 A
, C23C 16/52
4K030KA43
, 4K030LA15
, 5F045BB20
, 5F045EG02
, 5F045EG03
, 5F045GB05
, 5F045GB06
